今日淺看渦輪分子泵的原理及性能

　　渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應(yīng)，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。

　　渦輪分子泵的工作原理：

　　主要有立式和臥式兩種。

　　動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度（一般為150～400米/秒）。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個動葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。

　　渦輪分子泵的性能:

　　泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮（或空氣）的壓縮比為108～109；對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。

　　泵的極限壓力為10-9Pa，工作壓力范圍為10-1～10-8Pa，抽氣速率為幾十到幾千升每秒（1L=10-3m3）。

　　渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)（氣體分子的平均自由程遠大于導(dǎo)管截面醉大尺寸的流態(tài)）下工作才能顯示出它的*性，因此要求配有工作壓力為1～10-2Pa的前級真空泵。

　　分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000～60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。