渦輪分子泵是一種高真空泵，用于從氣體系統(tǒng)中抽取氣體分子。它由一系列的轉(zhuǎn)子和靜子組成，通過旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生高速氣流，將氣體分子排出系統(tǒng)。本文將介紹渦輪分子泵的工作原理、設(shè)計和應用。

　　渦輪分子泵的工作原理基于幾何壓縮效應和動能轉(zhuǎn)換原理。當氣體分子進入渦輪分子泵時，它們被引導到一個旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子中。轉(zhuǎn)子上有許多刀片，它們旋轉(zhuǎn)時加速氣體分子，并將其推向周圍的壁面。接著，氣體分子在壁面上發(fā)生彈性碰撞，被反彈回轉(zhuǎn)子中心，并與其他分子重新碰撞。這個過程會使得氣體分子在轉(zhuǎn)子內(nèi)不斷地碰撞、擴散、再碰撞并逐漸失去動能。最終，氣體分子被推到靜子中，并通過真空口排出系統(tǒng)。

　　渦輪分子泵的操作步驟

　　1、啟動前的準備：在開始使用分子泵之前，確保冷卻系統(tǒng)已經(jīng)接通并正常運行。同時，打開前級管道閥，并啟動機械泵（前級泵）。

　　2、粗抽階段：關(guān)閉高真空閥和粗抽閥，打開前級管道閥，啟動粗抽泵開始對真空室進行抽氣。當真空室內(nèi)的壓力降到150~100 Pa時，關(guān)閉粗抽閥，打開前級管道閥，然后啟動分子泵。

　　3、加速過程：分子泵從靜止狀態(tài)達到額定轉(zhuǎn)速通常需要5到10分鐘。如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，應在泵加速到額定轉(zhuǎn)速后加注液氮。

　　4、停機操作：在停機時，先關(guān)閉高真空閥。如果有液氮冷阱，還需要將冷阱加熱。在冷阱達到平衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再切斷分子泵電動機的電源使分子泵的轉(zhuǎn)子減速。

　　渦輪分子泵的注意事項

　　1、防返流措施：在停機過程中，為了防止機械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，應在切斷渦輪分子泵電動機的電源后，用一股干燥的反向氣流對分子泵進行放氣。

　　2、避免低轉(zhuǎn)速運行：不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉(zhuǎn)速下運轉(zhuǎn)，這可能會影響泵的性能和壽命。

　　3、防護措施：分子泵入口應裝設(shè)防護網(wǎng)，以避免異物進入泵內(nèi)損壞泵轉(zhuǎn)子和定子葉片。