擴散泵機組是一種高真空獲得設備，以油擴散泵為主泵，通常與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質蒸汽射流，攜帶擴散到蒸汽射流里的被抽氣體，從而實現抽真空的功能。

　　擴散泵機組的工作原理基于分子撞擊擴散的過程。具體來說，由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內的液態工作介質加熱，使其變成蒸汽。蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過擴散進入蒸汽射流中，被下一級蒸汽射流帶走，最后由前級泵排出。而工作蒸汽到達水冷的泵壁后，冷凝成為液態沿著泵壁流回油鍋，這樣周而復始地工作，形成了擴散泵的正常抽氣過程。

　　擴散泵機組的特點主要體現在以下幾個方面：

　　1、高真空度：

　　能夠獲得較高的真空度，通常在10^-2至10^-4Pa范圍內，部分高性能機組甚至可達到更高真空度，如10^-6Pa。

　　2、大抽氣能力：

　　具有強大的抽氣能力，抽速范圍廣泛，從190L/S至49000L/S（或更高，如某些機組可達到120000L/S）不等，可根據具體需求進行選擇。

　　3、穩定連續工作：

　　能夠長時間穩定連續工作，適用于需要持續高真空環境的場合。

　　4、廣泛應用：

　　被廣泛應用于電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領域，以及各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。

　　5、結構組成：

　　通常由油擴散泵作為主泵，與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成一個完整的高真空抽氣系統。

　　6、性能優化：

　　在設計和制造過程中采用了多種優化措施，如采用拉伸工藝減少焊縫、增加強度、降低放氣量；設置油觀察窗、注油和放油口、泵油控溫過熱保護裝置、冷卻水溫過熱警報裝置等，以提高機組的性能和可靠性。

　　7、節能環保：

　　隨著技術的不斷進步，現代擴散泵機組在節能環保方面也取得了顯著進展。例如，通過優化加熱效率、降低能耗、減少返油率等措施，降低了機組的運行成本和對環境的影響。