真空隔膜閥是利用閥桿將橡膠膜直接壓在閥座上，用來截止或接通真空系統。采用連接形式有活套法蘭連接、快卸法蘭連接、焊接式連接。焊接式連接又分焊接式I型連接〔即兩端焊接〕，焊接式II型連接〔即一端焊接，另一端插入〕。閥門適用的工作介質為空氣及非腐蝕性氣體。

　　真空隔膜閥的結構簡單、流體阻力小、流通能力較同規格的其他類型閥大；無泄漏，能用于高粘度及有懸浮顆粒介質的調節。隔膜把介質與閥桿上腔隔離，所以沒有填料介質也不會外漏。但是，由于隔膜和襯里材料的限制，耐壓性、耐溫性較差，一般只適用于1.6MPa公稱壓力和150℃以下。

　　真空隔膜閥的主要應用范圍：

　　一、半導體與微電子制造

　　晶圓制造（Wafer Fabrication）：

　　在化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、刻蝕（Etching）、離子注入（Ion Implantation）等工藝的真空腔室中，作為過程氣體管路的開關閥。

　　用于真空泵的隔離和排氣管路控制。

　　要求：超高真空（UHV）、無顆粒污染、耐多種腐蝕性氣體（如Cl?,F?,HBr,WF?）。

　　平板顯示（FPD）與LED制造：

　　在大型真空鍍膜和刻蝕設備中，控制工藝氣體和真空度。

　　二、制藥與生物工程

　　無菌制藥生產：

　　在生物反應器、發酵罐、純化系統的管路中，用于控制無菌空氣、氮氣、蒸汽或液體的流動。

　　優勢：隔膜可選用符合FDA認證的材料（如EPDM,FPM/FFKM），可耐受CIP（在線清洗）和SIP（在線滅菌），w死角、易清潔、防止交叉污染，滿足GMP要求。

　　實驗室與中試設備：

　　在真空干燥箱、凍干機（Lyophilizer）、旋轉蒸發儀的真空管路中，作為隔離閥或控制閥。

　　三、化工與石化工業

　　腐蝕性介質處理：

　　輸送和控制強酸（如硫酸、鹽酸、硝酸）、強堿、有機溶劑、鹵素氣體等腐蝕性流體。

　　隔膜材料（如PTFE、PFA、EPDM、FFKM）可針對特定介質選擇，提供優異的耐腐蝕性。

　　高純度化學品輸送：

　　在電子化學品、高純氣體的生產與輸送系統中，保證介質的純凈度。

　　四、食品與飲料工業

　　衛生級流體控制：

　　在乳品、飲料、釀酒、調味品等生產線的CIP/SIP系統和工藝管路中。

　　要求：符合3A、EHEDG等衛生標準，表面光潔（Ra≤0.8µm），無菌、無污染。

　　五、科學研究與分析儀器

　　高真空與超高真空系統：

　　在質譜儀（MS）、電子顯微鏡（SEM/TEM）、粒子加速器、空間模擬艙等科研設備的真空腔體連接管路中，作為主隔離閥或粗抽/精抽切換閥。

　　優勢：漏率極低（可達1x10??Pa·m³/s），出氣率低，放氣量小。

　　氣體色譜（GC）與液相色譜（HPLC）：

　　在自動進樣器、閥切換系統中，用于精確控制載氣或流動相的流向。

　　六、其他應用

　　水處理與環保：

　　在反滲透（RO）、超濾（UF）等水處理系統的真空或低壓管路中。

　　控制廢氣處理系統中的腐蝕性氣體。

　　醫療設備：

　　在醫療分析儀器、呼吸機、透析機等設備中，用于安全、潔凈地控制氣體或液體。